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製品紹介
平行光ライティングモジュールの5つの特徴
抜群の照度均一度
オプティカルインテグレーター（フライアイレンズ）の採用により、露光エリア全域において抜群の照度均一度を実現します。
ライン＆スペースの解像性が向上
ライン＆スペースの解像性が向上するため、パターニングの細密化に対応でき、ソフトコンタクト、オフコンタクト露光を要求される自動露光ユニットとして最適です。
パターン再現度の向上
大面積の露光エリアにおいて均一なパターン再現を行うことが出来ます。
時間短縮と製品歩留まりの向上
高解像度の光によるパターニングは、露光ラティテュードの拡大により、時間短縮と製品歩留まりの向上をもたらします。
露光面の温度の安定
コールドミラー、コールドフィルターの使用により、露光面の温度上昇が最小限に押えられています。
超高圧水銀灯装置の基本仕様
| 露光サイズ | □75㎜～□2350㎜ |
|---|---|
| W数 | 250W,500W,1kW,2kW,3.5kW,5kW,8kW, 10kW,16kW,25kW,35kW 光学設計時に選定します。 |
UV LED装置の基本仕様
| 露光サイズ | □50㎜～1000㎜×1500㎜ |
|---|---|
| LED波長 | 365nm 385nm 405nm |
UV LED照射装置のメリットはこちらからご覧下さい。
UV LED装置のメリット
現在お使いの露光用光源（水銀灯）をUV LED光源システムに置き換えできます。
※実際の露光機を弊社スタッフが確認した上で判断させていただきますので是非ご相談ください。
製作事例
実績最大サイズ露光用紫外線平行光照射装置
・有効露光サイズ：最大2350×2350mm
・超高圧水銀灯35kW使用
・露光面照度≒20mW/cm*2（＠365nm）
・照度分布率≥90%
照射方式
・1灯式垂直照射方式
・1灯式上下両面切替照射方式
・1灯式左右両面切替照射方式
・2灯式上下両面同時照射方式
・レンズコリメーション方式
・フライアイレンズチェンジング方式などその他照射方式につきましてもご相談下さい。
見積もりから納品まで
すべて弊社自社工場で組み立て製作を行っている為、外部への情報漏れ対策は万全を期しております。
あらゆる露光サイズに対応可能です。（□50㎜から□2,350mmまで実績がございます）
step1
お問合せ
まずはお電話もしくはメールフォームからお問合せください。
この際に弊社スタッフより仕様要項などをご質問させて頂きます。
お問合せ内容によっては弊社営業が貴社へご訪問しまして細かい条件等をヒアリングさせていただきます。
step2
仕様検討、お見積り
貴社のご要望に最適となるよう仕様の検討を行います。
弊社では、過去の製作実績にもとづく詳細なデータが
豊富に蓄積されていますので、仕様の検討からご提案まで
非常にスピーディーに行うことが出来ます。
ご要望仕様受理後一週間以内に、見積図面、仕様書を提出いたします。
- 光学シミュレーションを実施し、露光面の予測性能データを提出します。
- 特別な場合を除いて原則として別途設計費はいただきません。
- 一台のみでも低価格にて製作いたします。
step3
ご成約・発注
ご提案仕様要件及びお見積もり内容にご納得頂けましたら正式な注文書の取り交わしを行わせていただきます。
step4
製作設計
受注後ただちに製作設計に着手し、併せて必要部材の手配を行います。
step5
製作・調整・出荷検査
装置の組立てはすべて弊社工場にて行います。組立て完了後
試運転、調整を行い、完成検査を実施し、データの測定、採取、確認を行います。
採取データ
照度分布データ
分光分布データ
コリメーションアングル
デクリネーションアングル
- 納入仕様書記載の性能達成率１００％をお約束します。
step6
出荷・納品・アフターサービス
完成検査後、細部再点検、クリーニング後、梱包を行い貴社ご指定場所に納品します。
- 出荷前に採取データの報告をいたします。
- 取扱説明書を提出します。
- 納入後の修理、再調整、改造などのアフターメンテナンスは、有償、無償にかかわらず適正に対処いたします。
