株式会社 テクノポスト

テクノポストでは

・F.P.D.基板(液晶、有機E.L.、P.D.P.等)
・半導体ウェーハ用
・プリント基板露光用
・リードフレーム等フォトエッチング用
・フォトマスクパターニング用
など、ファインパターンのフォトリソ工程において不可欠な、露光用ライティングモジュールの設計、試作から量産までを、短いリードタイムでお引き受け致します。
なお、光源部(ランプハウス)のみの設計、製作にとどまらず、自動機(露光機)との連携制御も含めた、トータルでの開発サポートも実施いたします。

弊社製品の特徴

・オプティカルインテグレーター(フライアイレンズ)の採用により、
露光エリア全域において抜群の照度均一度を実現します。

・ライン&スペースの解像性が向上するため、パターニングの細密化に対応でき、
ソフトコンタクト、オフコンタクト露光を要求される自動露光ユニットとして最適です。

・大面積の露光エリアにおいて均一なパターン再現を行うことが出来ます。

・高解像度の光によるパターニングは、露光ラティテュードの拡大により、
時間短縮と製品歩留まりの向上をもたらします。

・コールドミラー、コールドフィルターの使用により、
露光面の温度上昇が最小限に押えられています。